臭氧發生器是一種用來制取臭氧的裝置。臭氧容易分解，不能儲存，需要現場準備和使用（特殊情況下可以短時間儲存）。因此，在所有可以使用臭氧的地方都應該使用臭氧發生器。臭氧發生器廣泛應用于飲用水、工業氧化、食品保鮮、空間殺菌等領域。臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過混合裝置與液體混合參與反應。

臭氧發生器的殺菌機理和過程屬于自然過程，臭氧氧化并區分細菌外葡萄糖氧化所必需的葡萄糖氧化酶。臭氧可以直接作用于細菌和病毒，粉碎它們的細胞器，區分DNA、蛋清物質、脂類、多糖等大分子聚合物，使細菌物質代謝的生產和繁殖過程粉碎。

因為臭氧的主要作用是消毒殺菌，所以臭氧濃度的控制尤為重要。那么臭氧發生器作為臭氧制取裝置應該如何控制臭氧的濃度呢？

隨著技術的不斷發展，臭氧濃度檢測的方法和儀器也在不斷變化。目前，根據這些檢測方法開發生產的產品有很多，如臭氧傳感器、臭氧模擬輸出模塊、臭氧檢測儀等。

目前很多臭氧發生器會帶有臭氧檢測模塊，可以很直觀的體現出O3濃度情況，比如美國SPEC Sensors 空氣質量 臭氧模擬輸出模塊 － ULPSM－O3 968－005，快速地將臭氧傳感系統集成到您的系統中，并且使用非常低的功耗和一個簡單的模擬傳感器信號輸出。ULPSM將臭氧傳感器的線性電流信號輸出轉換為線性電壓信號，同時保持傳感器在理想的有偏差的操作環境下。